1.激光干涉儀以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器。即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm 量級(jí),細(xì)分后更可達(dá)到n m量級(jí)。
2. 應(yīng)用范圍廣 激光干涉儀除了可用于長(zhǎng)度的精密測(cè)量外,測(cè)量角度、直線(xiàn)度、平面度、振動(dòng)距離及速度等等,還可以分光進(jìn)行多路測(cè)量。
3. 環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng) 即使光強(qiáng)衰減 90%,仍然可以得到有效的干涉信號(hào)。由于這一特點(diǎn),雙頻激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準(zhǔn)器和坐標(biāo)測(cè)量機(jī),也可以在普通的車(chē)間內(nèi)為大型的機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。