1.激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。即使不做細分也可達到μm 量級，細分后更可達到n m量級。

2. 應用范圍廣  激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外，測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等，還可以分光進行多路測量。

3. 環(huán)境適應力強 即使光強衰減 90%，仍然可以得到有效的干涉信號。由于這一特點，雙頻激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準器和坐標測量機，也可以在普通的車間內為大型的機床的刻度進行標定。